前工程
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研磨後洗浄装置
SC300-CC series研磨後洗浄工程のシェアNO.1(当社調べ)
300mm対応枚葉式洗浄装置 -
ファイナル洗浄装置
SC300-FC series最先端ウェーハ向け300mm対応枚葉式洗浄装置
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高温リン酸エッチング装置
SC300-HT series枚葉窒化膜エッチング工程でシェアNO.1(当社調べ)
300mm対応枚葉式高温リン酸エッチング装置 -
フォトマスク洗浄装置
MC150、ARTS凍結洗浄機能を搭載
6025対応枚葉式フォトマスク洗浄装置 -
フォトマスクエッチング装置
ARES seriesEUVマスク対応フォトマスクエッチング装置
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ケミカルドライエッチング装置
CDEプラズマダメージフリーな等方性エッチング装置
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低温アッシング装置
ICE薄ウェーハに対応した低温アッシング装置