FPD製造装置

新型・次世代ディスプレイ製品の開発を推進

有機EL（OLED）・液晶のフラットパネルディスプレイ（FPD）においては、主要サプライヤとしてのポジションを堅持し、新しいディスプレイに対応した高精度、高品質の高付加価値製品の開発に取り組んでいます。

ウェットプロセス工程

高洗浄度 安定搬送 各種成膜装置とドッキング対応

LCD / OLED製造工程の様々な段階で、ガラス基板表面の微小なパーティクル、有機物、金属不純物といった歩留り低下の原因となる汚染を取り除く装置です。

カラーフィルタ工程のレジスト処理工程の中で、ガラス基板上に塗布されたレジストにパターン露光した後、現像処理をする装置です。

LCD / OLED（フロントプレーン、バックプレーン）の工程における、各種レジストをWET処理にて剥離する装置です。

各種基板サイズ対応 多用な薬液プロセスに最適 低COO

半導体後工程のFo-PLP (Panel Level Package) / Fo-WLP (Wafer Level Package) に対応

高精度実装 高生産性 豊富なラインナップ

液晶駆動用ICが実装されたCOFを、FPDパネル上に高精度で接合する装置です。
高い歩留まりで効率的な生産を実現し、環境にやさしい生産をサポートします。

液晶パネルに駆動用ドライバ（IC / COF）を高精度で実装する装置です。
ノートブックPC（NB）、モニタ、車載等の多彩な用途・サイズに対応します。

マイクロOLED（OLEDoS）、マイクロLEDなど次世代ディスプレイのドライバ実装装置もラインナップしています。