枚葉窒化膜エッチング工程でシェアNO.1（当社調べ）
300mm対応枚葉式高温リン酸エッチング装置

先端ロジックデバイス向けの窒化膜エッチング装置として、進化し続ける枚葉式の高温リン酸エッチング装置です。
ウェーハ近接ヒーターによるエッチングプロファイルの制御、シリコン濃度制御による高選択性、後洗浄工程の2in1を特⾧としました。デバイスの信頼性と歩留まり向上に貢献します。