EUVマスク対応フォトマスクエッチング装置

ARESシリーズは、次世代EUVからレガシー製品まで対応したフォトマスクエッチング装置です。当社独自のプラズマ源を備えたプロセスモジュールを用途に応じて組み合せることで、先端開発評価から量産まで対応しています。
NA0.55の次世代EUV向けの新型ARESでは、新しいチャンバー構造の採用と材質の最適化により、さらに広いプロセスウィンドウを実現。今後も多様化するフォトマスク材質やプロセスに対応し、お客様のご要望に柔軟にお応えします。