ファイナル洗浄装置
SC300-FC series
最先端ウェーハ向け300mm対応枚葉式洗浄装置
半導体ウェーハの工程間洗浄、最終洗浄に対応した300mm対応の枚葉式洗浄装置です。
当社の枚葉式洗浄装置の豊富な経験、技術を活かし、高い洗浄性と必要十分な生産性を備えています。ウェーハ保持機構を改善し、ウェーハ表裏面に加え端面の清浄性も改善しました。最高の品質に貢献します。
エッチング・洗浄・チップ搭載。
お悩み別に製品をご紹介!
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特長
高性能
19nm以下の微細パーティクルに対応。搬送効率とチャンバーの見直しにより従来機から洗浄性能を約25%向上しました。
ウェーハ保持機構の改善
端面の清浄度を改善するために、新たなウェーハ保持機構を開発しました。
高生産性
最大8チャンバーの構成を選択可能で、生産性に貢献します。
最終洗浄工程

4ロードポート

関連情報
お問い合わせ
この製品を統括する事業部門
- ファインメカトロニクス事業部