ファイナル洗浄装置
SC300-FC series

最先端ウェーハ向け300mm対応枚葉式洗浄装置

半導体ウェーハの工程間洗浄、最終洗浄に対応した300mm対応の枚葉式洗浄装置です。
当社の枚葉式洗浄装置の豊富な経験、技術を活かし、高い洗浄性と必要十分な生産性を備えています。ウェーハ保持機構を改善し、ウェーハ表裏面に加え端面の清浄性も改善しました。最高の品質に貢献します。

エッチング・洗浄・チップ搭載。
お悩み別に製品をご紹介!

特長

高性能

19nm以下の微細パーティクルに対応。搬送効率とチャンバーの見直しにより従来機から洗浄性能を約25%向上しました。

ウェーハ保持機構の改善

端面の清浄度を改善するために、新たなウェーハ保持機構を開発しました。

高生産性

最大8チャンバーの構成を選択可能で、生産性に貢献します。

最終洗浄工程
最先端のウェーハ洗浄に対応したスピン処理技術
4ロードポート
8チャンバーの生産能力に対応

お問い合わせ

この製品を統括する事業部門