パネルレベルパッケージボンダ
TFC-9300 高UPH / TFC-9310 高精度

Panel Level Package(PLP)プロセス対応

PLPプロセスに適合した高精度/高生産性ボンダです。
スマートフォンを代表としたモバイル機器では、小型化、省電力化が追及されており、Fan Out(FO)パッケージをパネルレベルで効率的に生産するFO-PLP分野への注目が高まっております。
また、FOパッケージ(チップ-1st)以外にも、サーバ向け2.5Dおよび2.XDパッケージ製品(チップ- Last)への適用が進み、Thermal Compression(TC)プロセスへの拡大が注目されています。
当社は、2014年より高精度PLPボンダの開発および販売をしており、大手のOSATへの導入実績による高い技術力と豊富な経験を有しております。
また、TCプロセスに適合した各種機能も充実しております。
TFC-9300では、「高生産性」、「高精度」、「プロセス適合性」により、お客様の生産に貢献します。

エッチング・洗浄・チップ搭載。
お悩み別に製品をご紹介!

特長

大型基板対応(最大630mm×650mm)

最大630mm×650mmまでの大型基板に対応可能です。
パネルレベルで高精度、高生産性を実現します。

高生産性

当社独自の4式のボンディングヘッド構成/制御技術により、安定した高い生産性を実現します。

各種PLPプロセスに適応

生産性重視のチップ-1st、高精度なチップ-Last(RDL-1st)の両実装プロセスに最適なオプションを取り揃え、PLP市場の黎明期より取り組んできた高い技術力と豊富な経験で最適解を提供します。
DAFやC4などの加熱接合を含めた、Face Down / Face Upの両実装プロセスに対応可能です。

4式ボンディングヘッド構造
高剛性架台により、4式ボンディングヘッドによる高精度かつ高生産性を実現
TCプロセス対応ユニット
フラックスディッピングユニット/パルスヒータヘッドを搭載可能

装置説明

主な用途 TFC-9300 FO-PLP製品
TFC-9310 UHD FO-PLP / TC-PLP製品
精度 Face Down 3μm (3σn-1) *Local認識/R.T条件
Dry UPH 10,000以上
基板サイズ Max.630×650mm基板
その他 テープフィーダ

お問い合わせ

この製品を統括する事業部門