真空応用装置

真空技術を応用した成膜装置を幅広い分野にご提供

電子部品をはじめ、各種デバイス、光学、自動車部品などの研究開発から量産まで幅広い分野に向けたスパッタリング装置を製造しています。

電子部品用

優れたスペース生産性 多彩なプロセス対応 自動化ライン対応

電子部品における電極、配線などの用途にご使用いただけます。

高均一性 多彩なプロセス対応 自動化ライン対応

各種デバイスの量産用としてご使用いただけます。

豊富な納入実績 全自動運転 多彩なオプション

各種デバイスの研究開発用としてご使用いただけます。

SiCウェーハ対応 ウェーハサイズ 200,150,100mm 省スペース

ウェーハプロセスにおける電極、配線などの用途にご使用いただけます。

高スループット 短時間メンテナンス 省スペース

自動車の内外装などの装飾部品の用途にご使用いただけます。

低温にて多層成膜が可能 高生産性 多品種対応

ARコートなど、光学膜の用途にご使用いただけます。