東芝鶴見工場の一部の建物や機械設備を借用して操業を開始。設立当時の社名は「芝浦京町製作所」でしたが、同年12月に東芝の前身である「芝浦製作所」の社名を継承。創立当初は軍需品を中心に取り扱っていました。

神奈川県大船にある工作機械工場を買収し、大船工場（現・横浜事業所）を操業。無線電源、電動巻上機、電動伐採機、直流変圧器などを取り扱っていました。

第二次世界大戦の終戦後、それまでの軍需中心から民需産業へと転換することが会社を存続・維持していくための緊急課題となりました。例えば、モータを基本技術として、産業分野では水中モータ、直流電動機を、民生分野では洗濯機用モータ、エアコン用ファンモータを開発するなどし、新たな事業を開拓していきました。

液晶パネル洗浄装置を開発。パソコンの液晶ディスプレイ化に伴って洗浄装置事業を拡大していきました。そして、液晶分野で培った洗浄技術を半導体分野へと展開し、ウェーハ洗浄装置の開発に向けて取り組みを開始しました。

ケミカルドライエッチング装置、コンパクトディスク（CD）に成膜するスパッタリング装置を手掛けていた株式会社徳田製作所と合併。装置事業のシナジー効果によって、さらなる事業拡大を果たしました。

米国に半導体製造装置の販売・サービス拠点として、現地法人SHIBAURA TECHNOLOGY INTERNATIONALCORPORATIONを設立。これ以降、台湾、韓国、中国など、海外のお客様への販売・サービス体制の強化を進めました。

ダイボンダやTAB実装装置などを手掛けていた東芝メカトロニクスと合併して、「芝浦メカトロニクス」が誕生。この合併により、半導体製造装置の前工程と後工程、FPD製造装置の前工程と後工程を1社で手掛ける製造装置メーカとして生まれかわりました。

液晶パネル製造装置の需要増加と液晶パネル大型化に対応するため、横浜事業所に第10世代基板対応の工場棟を新設しました。

枚葉式Siウェーハ洗浄装置や枚葉式リン酸エッチング装置など、グローバルニッチトップ製品の売上が拡大。SPE分野の売上高がFPD分野の売上高を上回りました。