アドバンスドパッケージボンダ
TFC-6500-W

Advanced Package(ADV-PKG)向け高生産対応

ADV-PKGプロセスに適合した高精度/高生産性ボンダです。
サーバや生成AIに用いられるGPUの進化を支える基幹技術としても重要性が高まるADV-PKG分野では、多くの情報を高速に受け渡すための入出力点数が増し、入出力端子の狭ピッチ化が進んでいます。さらに異種チップを1パッケージ化するチップレット技術は、既に実用段階へ移行しており、その重要度が一層高まっております。
当社は、ADV-PKG分野において多数の導入実績による高い技術力と豊富な経験を有しています。
TFC-6500-Wでは、2.5D、2.XD、3Dパッケージなど多様化するパッケージング工法に適合し、量産に対応しています。
ADV-PKGに適合した「高精度」、「高生産性」でお客様に貢献します。

エッチング・洗浄・チップ搭載。
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新製品

特長

高精度、高クリーン度

Face Down精度±1μmを実現。
高クリーン度(Clean Class100)にて高精度かつ高品質な生産に貢献します。

高生産性

ダブルヘッド構成により、高い生産性を実現します。
2.5D、2.XD、3D実装などの多様化するパッケージの量産にも対応しています。

フットプリント削減

TFC-6500と比べ、UPHは2倍以上を達成しつつ、フットプリントは約1.3倍と優れたスペース効率を実現しました。

装置説明

主な用途 2.5D、2.XD、3Dパッケージ製品
精度 Face Down±1μm (3σ) *Local認識/R.T条件
Dry UPH 4,200以上
チップサイズ Max.□30mm
基板サイズ φ200 / 300mmウェーハ
Max.330×320mm基板
その他 テープフィーダ/IRインスペクション/各種実装プロセス対応

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