お問い合わせ先端ロジックデバイス向けの窒化膜エッチング装置として、進化し続ける枚葉式の高温リン酸エッチング装置です。
ウェーハ近接ヒーターによるエッチングプロファイルの制御、シリコン濃度制御による高選択性、後洗浄工程の2in1を特長としました。デバイスの信頼性と歩留まり向上に貢献致します。
特長
- ・エッチングプロファイルの制御
ゾーン制御式のウェーハ近接ヒーターを備え、ウェーハ中心から端部へのエッチング量を制御可能。下地ロスを極小にします。
- ・高エッチングレートと高選択比の両立
160℃以上のリン酸温度を維持しつつ、リン酸中のシリコン濃度を制御することで高選択比を実現。
- ・2in1コンセプト
リン酸工程と後洗浄工程を1台の装置に備えまたした。またパターン倒壊対応乾燥技術も搭載可能です。
熱リン酸処理工程160℃超のリン酸を処理する枚葉式ウェットエッチャー
インラインヒーター高精度ヒーターでリン酸温度の安定化に寄与
