低温ポリシリコン
TFT用スピン
洗浄装置
低温ポリシリコンTFT用スピン洗浄装置Spin Cleaning Equipment for Low-Temperature Polysilicon LCDs
半導体製造工程レベルの洗浄能力を持った、低温ポリシリコンTFT洗浄に最適なスピン方式の洗浄装置です。
特長
- クロスコンタミネーションのミニマム化
LTPS製造工程上問題となるクロスコンタミネーションを半導体製造装置並みに液晶パネル製造装置で実現 - 低COO
設置スペース1/5と、薬液・純水使用量ミニマム化で「地球にやさしい 洗浄」を実用化 - 電気化学的原理にもとづく新プロセスの採用
機能水、酸薬液とメガソニックの組合せで合理的に汚染物の除去を実現
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