スピンプロセス装置

■各種基板サイズに対応可
適応サイズ例
 □320×320、□510×515、□600×600mm
 φ200、φ300mm

適応プロセス
洗浄や現像、エッチング、剥離など、酸系、アルカリ系の多様な薬液プロセスに最適なスピン方式のWETプロセス装置です。

関連技術の装置群はこちら

特長

フレキシブルなスピン処理装置

各種ケミカル処理、洗浄ツールの組合せが可能です。

クロスコンタミネーションのミニマム化

クロスコンタミネーションを高いレベルで抑制します。

低COO

薬液・純水使用量のミニマム化で「地球にやさしい装置」を実現します。

適応事例

  • ガラス基板(~G4.5)Smart phone, PC, Tablet等向け
  • ウェーハ(~12inch)

お問い合わせ

この製品を統括する事業部門