スピンプロセス装置
■各種基板サイズに対応可
適応サイズ例
□320×320、□510×515、□600×600mm
φ200、φ300mm
適応プロセス
洗浄や現像、エッチング、剥離など、酸系、アルカリ系の多様な薬液プロセスに最適なスピン方式のWETプロセス装置です。
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特長
フレキシブルなスピン処理装置
各種ケミカル処理、洗浄ツールの組合せが可能です。
クロスコンタミネーションのミニマム化
クロスコンタミネーションを高いレベルで抑制します。
低COO
薬液・純水使用量のミニマム化で「地球にやさしい装置」を実現します。
適応事例
- ガラス基板(~G4.5)Smart phone, PC, Tablet等向け
- ウェーハ(~12inch)
関連情報
お問い合わせ
この製品を統括する事業部門
- ファインメカトロニクス事業部