■各種基板サイズに対応可
適応サイズ例
　□320×320、□510×515、□600×600mm
　φ200、φ300mm

適応プロセス
洗浄や現像、エッチング、剥離など、酸系、アルカリ系の多様な薬液プロセスに最適なスピン方式のWETプロセス装置です。