レジスト剥離装置

独自技術を搭載した高性能・高精度のレジスト剥離装置
業界トップクラスの実績を誇る(当社調べ)
G10.5まで対応

LCD / OLED(フロントプレーン、バックプレーン)の工程における、各種レジストをWET処理にて剥離する装置です。

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特長

  • 連続的な高インパクトシャワー処理により、短時間処理が可能
  • 高い均一性
  • ロングライフ化による省薬液を実現
  • 様々な剥離液に対応
  • お客様のプロセスに合わせた最適なツール構成をご提案

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