レジスト剥離装置
独自技術を搭載した高性能・高精度のレジスト剥離装置
業界トップクラスの実績を誇る（当社調べ）
G10.5まで対応
LCD / OLED（フロントプレーン、バックプレーン）の工程における、各種レジストをWET処理にて剥離する装置です。
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特長
- 連続的な高インパクトシャワー処理により、短時間処理が可能
- 高い均一性
- ロングライフ化による省薬液を実現
- 様々な剥離液に対応
- お客様のプロセスに合わせた最適なツール構成をご提案
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この製品を統括する事業部門
- ファインメカトロニクス事業部