現像装置

独自技術を搭載した高性能・高精度の現像装置
CF工程の累積販売台数No.1(当社調べ)
G10.5まで対応

カラーフィルタ工程のレジスト処理工程の中で、ガラス基板上に塗布されたレジストにパターン露光した後、現像処理をする装置です。

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特長

  • 高い均一性
  • ロングライフ化による省薬液を実現
  • 様々な現像液に対応
  • お客様のプロセスに合わせた最適なツール構成をご提案
    (スプレー、パドル、ディップ)

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