現像装置
独自技術を搭載した高性能・高精度の現像装置
CF工程の累積販売台数No.1(当社調べ)
G10.5まで対応
カラーフィルタ工程のレジスト処理工程の中で、ガラス基板上に塗布されたレジストにパターン露光した後、現像処理をする装置です。
関連技術の装置群はこちら

特長
- 高い均一性
- ロングライフ化による省薬液を実現
- 様々な現像液に対応
- お客様のプロセスに合わせた最適なツール構成をご提案
(スプレー、パドル、ディップ)
関連情報
お問い合わせ
この製品を統括する事業部門
- ファインメカトロニクス事業部