剥離装置Stripping Equipment

剥離装置

剥離装置

TFT工程において、エッチング工程でのマスクの役割を終えたフォトレジストを、薬液などにより剥離する装置です。

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特長

  • 連続的な高インパクトシャワー処理により、短時間処理可能
  • 省スペース、省エネルギーを実現

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