製品・サービス
車や電子機器、スマートフォンやタブレット端末など、私たちの身近にある“モノ”に必要不可欠な「半導体」や「フラットパネルディスプレイ（FPD）」などをつくるための「製造装置」を製造、販売しています。
ニュース
半導体製造装置
次世代・先端半導体に対応したグローバルニッチトップ製品の開発を推進
前工程
洗浄装置
多薬液対応高洗浄力薬液／物理ダメージフリー
エッチング装置／アッシング装置
次世代EUV高洗浄度高精度面内均一性プラズマダメージレスエッチング
後工程
ボンディング装置
高精度高生産性機能充実最先端パッケージ向け大型基板対応
FPD製造装置
新型・次世代ディスプレイ製品の開発を推進
ウェットプロセス工程
スライスエッチング装置
高清浄度安定搬送各種成膜装置とドッキング対応
その他応用
スピンプロセス装置
開発／試作ライン向けのフレキシブルな処理対応低COO
モジュール工程
FPD用IC / COFボンダ
高精度実装高生産性
製品購入後もお任せください。
充実のアフターサービス・アフターフォロー
- メンテナンス事業
定期メンテナンス、オーバーホール、装置管理、修理
- 装置改善事業
中古装置、中古機器売買、改善／改造／延命、オーバーホール、移設／立ち上げ
- 部品／製品事業
各種部品販売、部品洗浄／表面処理／評価・解析
