通信デバイス用
スパッタリング装置
（CFS-12P-LL-90D）
通信デバイス用スパッタリング装置Sputtering Equipment for Optical Communication Devices
様々な製品に対応し、優れたプロセス安定性を実現
用途
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Siフォトニクス
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LED（配線膜、電極膜、保護膜）
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各種ウェーハ薄膜パターン形成
特長
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プロセス安定性
バッチ式スパッタ装置CFS-12P-90Hのプロセスを継承し、ロードロック室を備えることで高いプロセス安定性を実現
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高均一性
独自の自公転成膜方式により、高均一性を実現 -
膜質制御
加熱、バイアス、多元スパッタにより、多彩な膜質制御が可能
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