装飾部品用スパッタリング装置
S-1000、BM-700 / 900

ガラスやプラスチック、金属などの材料の上に薄膜形成が可能

用途やワークサイズ別にラインナップ。自動化が容易で歩留まりと生産性が向上します。

応用例

  • 光ディスク
  • 自動車内外装部品
  • 医療用バイオチップ

特長

  • 省スペース、高スループット
  • スパッタダウン方式で、基板(ワーク)搭載容易
  • 短時間のメンテナンス(ターゲット、防着板交換)

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