装飾部品用スパッタリング装置
S-1000、BM-700 / 900
ガラスやプラスチック、金属などの材料の上に薄膜形成が可能
用途やワークサイズ別にラインナップ。自動化が容易で歩留まりと生産性が向上します。
応用例
- 光ディスク
- 自動車内外装部品
- 医療用バイオチップ
特長
- 省スペース、高スループット
- スパッタダウン方式で、基板(ワーク)搭載容易
- 短時間のメンテナンス(ターゲット、防着板交換)
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- メカトロニクスシステム事業部