ミリ波レーダー用
スパッタリング装置
(BM-700/900)
ミリ波レーダー用
スパッタリング装置
(BM-700/900)
2種類以上のターゲット材料を搭載可能で、多層膜形成可能
BM-900では、プロセス室が最大3室あるので、ボンバード/保護膜なども処理可能
自動化(ライン)対応による無人化による歩留まり、生産性向上
特長
BM-700 | BM-900 | |
プロセス室数(最大)※ | 1 | 3 |
積層数(最大) | 2 | 6 |
スパッタターゲットサイズ | φ150mm | φ150mm |
プラズマ処理機構 | - | オプション |
保護膜形成処理機構 | - | オプション |
※ロードロック室を除く
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