電子部品用
スパッタリング装置
（BM-700/900/1400）
電子部品用スパッタリング装置Sputtering Equipment for Electronic Components
スペース生産性に優れた装置を追求
応用例
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電子部品
・インダクタ― (電極膜 他)
・セラミック基板 (配線 他)
・水晶デバイス (電極 他)
・SAW/BAWデバイス (配線 他)
特長
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優れたスペース生産性
独自のプラットホームにより、省スペースかつ高生産性を実現
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多彩なプロセス対応
７つのプロセス室にスパッタ、加熱、冷却、プラズマ処理を選択し、搭載可能
- 自動化ライン対応
お客様のご要望により、自動化ラインを提案
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