光学部品用
スパッタリング装置
（CCS-1300/2110/2800）
光学部品用スパッタリング装置Sputtering Equipment for Optical Parts
光学膜成膜に最適なスパッタリング装置です。
低温にて連続多層成膜が可能です。
応用例
- カバーガラス用ＡＲコート（スマートフォン用／車載ディスプレイ用）
- ＨＵＤ用増反射ミラー
特長
- 後酸化方式を採用し低温成膜が可能
- 高生産性
- 多品種対応
- 高均一性
- 高品質
- 自動化ラインの構築が容易
- 膜厚モニター（オプション）
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