ランプリフレクター用
スパッタリング装置
（BM-900／PLACOAT）
ランプリフレクター用スパッタリング装置Sputtering Equipment for Lamp Reflector
真空中で、プラズマ処理／スパッタリング／プラズマ重合を1台の装置で実現
自動化（ライン）対応による無人化による歩留まり、生産性向上
応用例
- 自動車のランプリフレクター
特長
- 高生産性（30～45秒／バッチ以下）
- スパッタダウン方式で、基板（ワーク）搭載容易
- 短時間のメンテナンス（ターゲット、防着板交換、プラズマ重合室メンテ）
- 立体形状ワークにも対応可能
- 自動化（ライン）対応による無人化による歩留まり、生産性向上
| BM-900 | PLACOAT | |
| プロセス室数（最大）※１ | 3 | 3 |
| 本体寸法 mm | W1500×D1500×H2000 | W2500×D2500×H1500 |
| ワークサイズ（最大） mm | φ275×H150 | L500×W500×H200 |
| サイクルタイム※２ | 30秒／バッチ以下 | 45秒／バッチ以下 |
| プラズマ処理室（ボンバード） | 〇 | 〇 |
| スパッタ室 | 〇 | 〇 |
| プラズマ処理室（重合） | 〇 | 〇 |
※1 ロードロック室を除く
※2 成膜条件（ワーク、材料等）により変動
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