光ディスク用
スパッタリング装置
光ディスク用スパッタリング装置Single Layer Sputtering Equipment
Blu-ray Discなどの大容量光ディスクに対応した新コンセプトのスパッタリング装置を開発しています。
特長
- 膜厚の高均一性：±2.0％（絶対値）
（半透明層向けスパッタ源 K-タイプ） - ショット回数：100万回以上
- 1台でSi、Ag、Agx、Au、Al膜の成膜が可能
ターゲットの変換だけで5つの膜形成に対応 - 高操作性、高メンテナンス性
- CD（厚さ1.2mm）、DVD（厚さ0.6mm）、BDへのスパッタリングが改造なしで可能
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