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半導体製造装置についてのお問い合わせ

ファインメカトロニクス事業部

半導体製造装置(前工程)

  • 研磨後洗浄装置
  • ファイナル洗浄装置
  • フォトマスク洗浄装置
  • フォトマスクエッチング装置
  • 高温リン酸エッチング装置
  • ケミカルドライエッチング装置
  • 低温アッシング装置
  • FOSB / FOUP洗浄装置

メカトロニクスシステム事業部

半導体製造装置(後工程、その他関連装置)

  • マルチプロセスボンダ
  • ハイエンドウェーハレベルパッケージボンダ
  • ハイブリッドボンダ
  • ウェーハレベルパッケージボンダ
  • パネルレベルパッケージボンダ
  • リールtoリールボンダ
  • 半導体用スパッタリング装置

FPD製造装置についてのお問い合わせ

ファインメカトロニクス事業部

FPD製造装置(ウェットプロセス工程、その他応用)

  • スライスエッチング装置
  • 現像装置
  • レジスト剥離装置
  • スピンプロセス装置

メカトロニクスシステム事業部

FPD製造装置(モジュール工程)

  • FPD用COFボンダ(OLB)
  • FPD用IC / COFボンダ(COG / OLB)
  • 次世代ディスプレイ向けボンダ

真空応用装置についてのお問い合わせ

メカトロニクスシステム事業部

  • 電子部品用スパッタリング装置
  • 多用途スパッタリング装置
  • 研究開発用スパッタリング装置
  • 半導体用スパッタリング装置
  • 装飾部品用スパッタリング装置
  • 光学部品用スパッタリング装置

各種応用装置についてのお問い合わせ

ファインメカトロニクス事業部

  • 「インクジェット技術」の応用
  • 可食インク

メカトロニクスシステム事業部

  • 自動化システム
  • 二次電池製造装置

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