サイトマップ

芝浦メカトロニクスグループ

高真空バルブ

真空ポンプ・コンポーネンツ

VHD Series（手動型）外形図・外形寸法 VAD Series（空圧型）外形図・外形寸法注意事項

カップリング
タイプ型

カップリングタイプ型

VHD Series, VAD Series 共に、カップリングタイプ型も取り揃えています。

お問い合わせ

VHD Series（手動型）外形図・外形寸法

型式	Type	VHD-25KL	VHD-40KL	VHD-50KL
口径	Caliber	NW25	NW40	NW50
A	mm	123	147	168
B	mm	45	55	65
C	mm	123	136	-
D	mm	40	55	75
E	mm	-	-	-
F	mm	65	80	70
G	mm	-	-	-
H	mm	-	-	-
コンダクタンス	L/s	15	45	85
ボディ・シール部漏れ量	Pa m³/s	1.3 × 10^-10 以下
バルブシート面差圧	MPa	0.1
A：ボディ B：シール部・材質		A：SUS304 B：フッ素ゴム
ライフサイクル		10 万回（常温時）
ベーキング温度	℃	70
質量	Kg	1.2	1.9	2.0

※ シャフトシール部がベローズ仕様もございます。
※ 予告なく仕様または希望小売価格が変更されることがあります。

VAD Series（空圧型）外形図・外形寸法

型式	Type	VAD-25KL	VAD-40KL	VAD-50KL
口径	Caliber	NW25	NW40	NW50
A	mm	164	188	214
B	mm	45	55	65
C	mm	-	-	-
D	mm	40	55	75
E	mm	71	77	83
F	mm	35	45	45
G	mm	85	103	123
H	mm	65	80	90
コンダクタンス	L/s	15	45	85
ボディ・シール部漏れ量	Pa m³/s	1.3 × 10^-10 以下
バルブシート面差圧	MPa	0.1
A：ボディ B：シール部・材質		A：SUS304 B：フッ素ゴム
圧縮空気圧力	MPa	0.29 ～ 0.49
ライフサイクル		100 万回（常温時）
ベーキング温度	℃	70
エアーシリンダー容量	mL	15	30	40
質量	Kg	1.2	2.0	2.5

※ シャフトシール部がベローズ仕様もございます。
※ 予告なく仕様または希望小売価格が変更されることがあります。

注意事項

バルブ開閉時は、バルブ開閉部（本体内部）および、接続口に体および手を入れないでください。
ベーキング温度以上に加熱しないでください。
ベーキング温度以上に加熱すると、Oリングが破損しやすくグリスの消耗が多くなり、ライフサイクルの低下を招く原因になります。
シール面にはゴミ等の異物が付着しないように注意してください。
特に弁座側のシール面には、ゴミ、異物等付着した状態でバルブを閉めないでください。

製品に関するお問い合わせ

お問い合わせはこちらから