マルチイオンゲージ
GMi Series
マルチイオンゲージ
GMi Series
本製品は、異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型マルチイオンゲージです。
従来方式の複数の原理を1つの匡体に組み合わせた複合的な真空計では、「1つの測定子の故障で測定子の全交換が必要」「測定子が複雑で故障しやすい」「測定子が高価」などのお客様の声をよく耳にします。
この方式であれば広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑え、低環境負荷の対応となります。
型式 | GMi-1 | GMi-2 | |
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仕様 | 標準仕様 | シリアル通信仕様 | |
適応マルチイオンゲージセンサ | M34(NW16)、M35(NW25) | ||
接続可能 | センサマルチイオンゲージセンサ:1本 ピラニゲージGPM:1本(オプション) 大気圧センサGAM:1本(オプション) |
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サンプリング時間 | 70 ms 4回の移動平均処理 | ||
測定値出力 | 出力電圧 DC 0 ~ 10 V, Log出力 0.75 V / 1桁 圧力換算式 V = 7.25 + 0.75 ×(Log P - 2) P = 10 ^ { ( V - 7.25 ) / 0.75 + 2 } *セットポイント調整用の出力電源も兼ねます(GMi-1のみ) |
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更新時間 | 50 msec | ||
制御入力信号 | FIL ON / OFF、FIL 1/2、DEGAS ON / OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理 ※FIL ON / OFF 信号はモードにより使用方法が異なる |
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制御出力信号 | センサエラー、セットポイント 1 / 2 / 3 エミッションバリッド フィラメント電力監視 定格:24 VMAX、50 mAMAX、 飽和電圧 1 V |
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シリアル通信仕様 | - | RS232C / RS485 | |
LED表示 | POWER / ERROR:パワー、エラ ー LED(各モードにより点滅状態が変化) FIL:エミッションバリッド LED |
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SET1:セットポイント 1 LED SET2:セットポイント 2 LED SET3:セットポイント 3 LED |
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エミッション電流 | 1 mA(1 × 10-3 Pa 以下), 10 µA | ||
DEGAS | 電子衝撃脱離方式(エレクトロンボンバード)1 mA, 330 V | ||
センサ耐圧 | 2 × 105 Pa(絶対圧) ※フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要 | ||
センサ内容積 | 34 cm3(M34) | ||
使用温度範囲 | 10 ~ 50 ℃ | ||
使用湿度範囲 | 15 ~ 80 %(ただし、結露なきこと) | ||
保管温度 | -20 ~ 65 ℃(非通電時、結露なきこと) | ||
IP 保護等級 | IP30 | ||
電源電圧 | DC 20 ~ 28 V(リップル、ノイズ 1 % 以下) 19 W 以下(電源投入時 156 W) | ||
入出力コネクタ | D-sub15ピン(M2.6 ネジ) | ||
質量 | コントローラ:約 530 g, B-A測定子(M34):63 g | ||
外形寸法 W × D × H(mm) | 144 × 75 × 62 以下(コントローラ部) | ||
適合規格 | CE | ||
オプション | POWER / ERROR:マルチイオンゲージセンサ | M34(NW16)、M35(NW25) 材質:フィラメント 1 lr / Y2O3コート、フィラメント 2 W(タングステン) その他 Pt C Mo, SUS, W |
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ピラニゲージ | SPU | ||
ピラニゲージセンサ | WP-16(NW16) 材質:フィラメント Pt、その他 BS / Ni, メッキ, Ni, 半田 |
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大気圧センサ | GAM(NW16) 材質:SUS316L | ||
ユニットケーブル | GPM 用 0.5 mm GAM 用 0.5mm |
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ディスプレイユニット | 1 CH:Model ISG1(DC 24 V 電源使用) 4 CH:Model IM1R1(DC 24 V 電源使用) Model IM2R1(AC 100 V 電源使用) |
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ディスプレイケーブル | GMi ~ディスプレイユニット間ケーブル 2 m, 5 m, 10 m, 15 m |
GMi-1/GMi-2は、マルチイオンゲージ単体モード、ピラニゲージとのコンビネーションモード、ピラニゲージおよび大気圧センサとのトリプルコンビネーションモードの3種類の使用方法から選択可能です。
モード | GMi-1 / GMi-2 単体モード |
GMi-1 / GMi-2 + GPM コンビネーションモード |
GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM コンビネーションモード |
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測定圧力範囲 | 5 × 10-8 ~ 1 × 101 Pa | 5 × 10-8 ~ 1 × 104 Pa | 5 × 10-8 ~ 1 × 105 Pa |
測定精度 | 5 × 10-8 ~ 1 × 101 Pa± 15 % | 5 × 10-8 ~ 1 × 103 Pa:± 15 % 1 × 103 ~ 3.0 × 103 Pa:± 30 % 3.0 × 103 ~ 1.0 × 104Pa:精度保証なし |
5 × 10-8 ~ 1 × 103 Pa:± 15 % 1 × 103 ~ 3.0 × 103 Pa:± 30 % 3.0 × 103 ~1.0 × 104Pa:精度保証なし 1.0 × 104 ~ 1.0 × 105Pa:± 3 % F.S (3 × 103 Pa・基準温度 25 ℃) |
繰返精度 | 1 × 10-6 ~ 1 × 10-1Pa:Pa± 2 % | ||
接続図(例) |
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