レチクル
(フォトマスク)移載機
レチクル(フォトマスク)移載機
レチクル(フォトマスク)移載機 model-A
- 6インチレチクル（6025サイズ：ペリクル無し）をレチクルSMIFポッド（シングル、マルチ）と
各種プロセス装置用の専用カセットの間で移し替えをおこなう装置です。
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シンプルな操作でカセット間レチクルの移し替えを安全・確実におこないます。
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アーム上にレチクルを載せて、ダメージを与えないように搬送をおこないます。
（吸着や挟みこみでのレチクル保持はおこないません）
（レチクルの前後の裏面を搬送アーム上で支持します）
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お客様のご要望に応じてカスタム対応致します。
・各種ケースへの対応
・レチクルサイズの変更
・ブロー機能追加等
仕様
| 項目 | model-A |
|---|---|
対象ワーク |
６インチサイズレチクル（6025サイズ） ※ペリクル無し |
| 対象ケース | 【レチクルSMIFポッド】 【専用カセット】 |
ケース設置方法 |
オペレータによる設置 |
ケース開閉方式 |
・レチクルSMIFポッドは、装置で自動開閉 ・専用カセットは、オープンカセットである為、開閉機構はなし |
レチクル搬送方式 |
アーム上にレチクルを載せて搬送（レチクル前後位置の裏面エッジを支持） |
レチクル接触部材質 |
PEEK |
操作部 |
小型タッチパネル |
電源 |
・電圧 ： 単相AC100V 50/60Hz |
| 空圧源 | ・クリーンドライエアーを使用 ・供給圧力：0.5~0.9MPa |
| 安全機能 | ・装置前面にセーフティーライトカーテンを装備 ・非常停止(EMO)スイッチを装備 ・専用カセット用ステージには、搬送中に手が入らないようにポートカバーを装備 |
外形寸法図
レチクル(フォトマスク)移載機 model-C
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6インチレチクル（6025サイズ：ペリクル付きも可）をレチクルSMIFポッド（シングル）と
出荷用ケースの間で移し替えをおこなう装置です。
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シンプルな操作でカセット間レチクルの移し替えを安全・確実におこないます。
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搬送アームは、レチクルを左右方向から挟みこむかたち開閉します。
レチクルを運ぶ時は、裏面エッジを支持して運びます。
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お客様のご要望に応じてカスタム対応致します。
・各種ケースへの対応
・レチクルサイズの変更
仕様
| 項目 | model-C |
|---|---|
対象ワーク |
６インチサイズレチクル（6025サイズ） ※ペリクル付きも可能 |
| 対象ケース | 【レチクルSMIFポッド】 【出荷用ケース】 |
ケース設置方法 |
オペレータによる設置 |
ケース開閉方式 |
・レチクルSMIFポッドは、装置で自動開閉 ・出荷用ケースは、装置で自動開閉 |
レチクル搬送方式 |
裏面エッジ支持にて搬送 |
レチクル接触部材質 |
PEEK |
操作部 |
小型タッチパネル |
電源 |
・電圧 ： 単相AC100V 50/60Hz |
| 空圧源 | ・クリーンドライエアーを使用 ・供給圧力：0.5~0.9MPa |
真空源 |
出荷用ケースの固定およびフタの開閉で使用 ・供給圧力：-70.0KPa以下 ・必要流量：25L/min（ANR)以上 |
| 安全機能 | ・装置前面にセーフティーライトカーテンを装備 ・非常停止(EMO)スイッチを装備 ・専用カセット用ステージには、搬送中に手が入らないようにポートカバーを装備 |
外形寸法図
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