1972年7月
株式会社徳田製作所の事業の一部を継承し、東京真空機材株式会社を設立
資本金1百万円
1976年6月
商号を東京真空技術サービス株式会社に変更
大阪営業所を開設
1978年6月
東京真空工事株式会社と合併、横浜工場改修工事部として継承
1984年4月
九州営業所(現・大分営業所)を開設
1984年5月
横浜工場を閉鎖、新たに座間工場を開設
1985年4月
東北営業所(現・岩手営業所)を開設
1988年4月
仙台営業所を開設
1991年4月
姫路出張所を開設
1991年10月
株式会社徳田製作所と株式会社芝浦製作所が合併
新たに真空機器システム事業部と相模工場を継承
1992年4月
座間工場を座間事業所に改称
1992年6月
資本金を5千万円に増資
1994年4月
四日市出張所(現・三重営業所)を開設
1995年4月
商号を芝浦エレテック株式会社に変更
株式会社芝浦製作所(現・芝浦メカトロニクス株式会社)電子・真空機器事業部の標準品事業を継承
1995年7月
大阪営業所、姫路出張所を統合し、姫路営業所(後の西部営業所)を開設
1997年12月
本社を神奈川県横浜市に移転
1998年3月
座間事業所を閉鎖、神奈川県横浜市に移転
1999年4月
芝浦メカトロニクス株式会社の直交ロボットサービス事業を移管
1999年10月
さがみ野営業所を開設
2000年4月
北陸出張所(現・富山営業所)を開設
2000年6月
西部営業所(現・大阪営業所)を大阪府吹田市に移転
2001年4月
芝浦メカトロニクス株式会社の保線機の営業部門を移管
2001年5月
資本金を1億円に増資
2001年7月
熊本出張所(現・熊本営業所)を開設
2001年10月
eサービスセンターを開設
芝浦メカトロニクス株式会社の真空装置の設計・製造部門を移管
2002年4月
芝浦メカトロニクス株式会社のレーザ部品販売、ボンダサービス、実装機・磁気浮上搬送サービス事業を移管
芝浦プレシジョン株式会社のレーザサービス事業を移管
2003年2月
パーツセンターを開設
2003年4月
横浜事業所、滋賀営業所を開設
芝浦プレシジョン株式会社の小型オイルレスドライポンプの営業を移管
2003年7月
古物商の許可を取得
2003年10月
中古装置販売を開始
2004年2月
一般労働者派遣事業の許可を取得
2004年4月
会津・新潟・福岡・長崎地区に営業所を開設
芝浦プレシジョン株式会社のピストンポンプの製造事業を移管
関西営業所を開設
2005年6月
茨城営業所を開設
2005年10月
芝浦プレシジョン株式会社に真空装置の製造販売事業を移管
2007年3月
東芝機械株式会社に直交ロボットサービス事業を移管
2008年4月
亀山営業所を開設
2009年2月
滋賀営業所を大阪営業所に統合
2009年3月
福岡営業所を大分営業所に統合
2009年4月
横浜営業所を神奈川営業所に統合
2009年12月
茨城営業所を仙台営業所に統合
2010年9月
関西営業所を大阪営業所に統合
2011年4月
堺分室を開設
2011年5月
亀山営業所を大阪営業所に統合
2012年3月
新潟営業所を富山営業所に統合
2012年4月
芝浦メカトロニクス株式会社のレーザ単体装置の製造事業を移管
2013年1月
新規事業開拓推進センターを発足
2013年2月
会津営業所を仙台営業所に統合
2013年4月
石川事務所、四日市分室を開設
2015年4月
機器営業所を開設
2015年8月
ロボットオーバーホール事業を開始
花巻分室(現・花巻テクニカルセンター)を開設
2016年4月
四日市分室を三重営業所に統合
2016年10月
石川事務所を石川営業所として新設
2017年10月
堺分室を大阪営業所に統合
2018年3月
医療機器修理業許可を取得
2020年4月
機器営業所を神奈川営業所に統合
2021年4月
さがみ野営業所を神奈川営業所に統合
2023年4月
事業戦略部を発足
2023年11月
長崎営業所を諫早市東小路町に移転