VHD Series
（手動型）
高真空バルブ
特長
- VHDシリーズは手動式を動作源としてバルブの開閉を行います
- フランジは全てJIS B2290規格（VFタイプ）を採用しています
- シリーズ全てSUS製ボディを採用し低価格を実現します
- Oリング材質はFPM（フッ素ゴム）を使用しています
- オプションのリードスイッチを取付けることにより弁開閉の検出が可能です。
外形図・外形寸法
| 型式 | Type | VHD-1L | VHD-2L | VHD-3L | VHD-4L |
|---|---|---|---|---|---|
| 口径 | Caliber | 1B | 2B | 3B | 4B |
| A | mm | 169 | 220 | 280 | 315 |
| B | mm | 55 | 75 | 95 | 110 |
| D | mm | 90 | 120 | 160 | 185 |
| E | mm | 28 | 42 | 64 | 64 |
| F | mm | 80 | 80 | 140 | 140 |
| G | mm | 70 | 100 | 135 | 160 |
| N - H | 個 - mm | 4 - 10 | 4 - 10 | 4 - 12 | 8 - 12 |
| 質量 | Kg | 1.6 | 3.3 | 8.1 | 11 |
| コンダクタンス | L/s | 15 | 70 | 180 | 350 |
VHDシリーズは、｢カップリングタイプ型｣ ｢三方弁タイプ型｣も取り揃えています。
三方弁タイプ型は、別途お問合わせください。
口径は１インチから36インチまで取り揃えております。
（６インチ以上は受注生産です）
※ 予告なく仕様または希望小売価格が変更されることがあります。
注意事項
- バルブ開閉時は、バルブ開閉部（本体内部）および、接続口に体および手を入れないでください。
- ベーキング温度以上に加熱しないでください。
ベーキング温度以上に加熱すると、Oリングが破損しやすくグリスの消耗が多くなり、ライフサイクルの低下を招く原因になります。
シール面にはゴミ等の異物が付着しないように注意してください。 - 特に弁座側のシール面には、ゴミ、異物等付着した状態でバルブを閉めないでください。
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