ピラニゲージ
GPW Series
真空計
本製品は、大気圧から5×10-2Paまでの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。
さらにこの真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、｢コストの低減｣や｢省スペース化｣を可能としました。
GPWシリーズの特長
- 広領域測定：大気圧から5×10-2Paまでの広領域の測定が可能
- 省配線：センサとコントローラを一体化により省配線、省スペース、省電力を実現
- 視認性の向上：異常を確認できるLEDを搭載
- ワンタッチ調整が可能：大気圧調整ならびにゼロ点調整がワンタッチで可能
- メンテナンス性：測定子の交換が容易
- フィラメント材質・白金（Pt）：フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用
- 測定値出力信号：圧力は0～10VのLog出力の標準装備
- 耐衝撃性の向上：耐衝撃性に富んだ設計構造
- 制御出力信号：セットポイント２点の出力可能（GPW-1）
- シリアル通信仕様：RS-232C/RS-485通信が可能（GPW-2のみ）
- 適合規格：CE標準対応
用途
- 太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用
- 炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用
- インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用
仕様
| 型式 | GPW-1 | GPW-2 | |
|---|---|---|---|
| 接続可能測定子 | 1本 | ||
| 適応測定子 | SWP-16（NW-16） | ||
| 測定圧力範囲 | 5.0 × 10-2 ～ 1.0 × 105 Pa | ||
| 測定精度* | 1 × 10-1 ～ 1 × ×104Pa : ± 10 % 5.0 × 10-2 ～ 1.0 × 10-1 Pa, 1 × 104Pa ～ 1 × 105 Pa : ± 20 % |
||
| 繰り返し性 | 1 × 10-1Pa ～ 1 × 104 Pa : ± 2 % | ||
| サンプリング時間 | 50 ms 5回の移動平均処理 | ||
| 測定値出力 | 出力電圧 DC 0 ～ 10 V | ||
| 圧力指示（Log 出力）1.7 V ～ 8.0 V, 1V / 桁 | |||
| 更新時間 | 50 ms | ||
| 制御入力信号 | オープンコレクタ入力、負論理 ADJ 調整（ゼロ点調整、大気圧調整） |
- | |
| 制御出力信号 | オープンコレクタ出力 負論理 [定格 : 30 VMAX, 50 mAMAX, 70 mW] エラー信号 セットポイント 1, 2 |
- | |
| セットポイント用モニタ | セットポイント 1, 2 : 0 ～ 10 V Log 出力 | - | |
| シリアル通信仕様 | - | RS232C / RS485 | |
| LED表示 | POWER / ERROR : パワー、エラー LED | ||
| SET-1 : セットポイント 1 LED SET-2 : セットポイント 2 LED |
- | ||
| フィラメント材質 | 白金 | ||
| 使用温度範囲 | 10 ～ 40 ℃ | ||
| 使用湿度範囲 | 15 ～ 80 %（ただし結露無きこと） | ||
| IP 保護等級 | IP30（センサユニット） | ||
| 取付姿勢 | 制限無し | ||
| 電源電圧 | DC 18 V ～ 30 V, 2 W（電源投入時 4.8 W） | ||
| 入出力コネクタ | D-sub15-ピン（M2.6ネジ） | ||
| 質量 | 150 g（SWP-16付き） | ||
| 入外形寸法（電源部）W × D × H（mm） | 70 × 46 × 28 | ||
| 適合規格 | CE | ||
*大気圧調整ならびにゼロ点調整後の精度になります。
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