電子部品用
スパッタリング装置
(BM-700/900/1400)
電子部品用
スパッタリング装置
(BM-700/900/1400)
スペース生産性に優れた装置を追求
電子部品
・インダクタ― (電極膜 他)
・セラミック基板 (配線 他)
・水晶デバイス (電極 他)
・SAW/BAWデバイス (配線 他)
特長
優れたスペース生産性
独自のプラットホームにより、省スペースかつ高生産性を実現
多彩なプロセス対応
7つのプロセス室にスパッタ、加熱、冷却、プラズマ処理を選択し、搭載可能
お客様のご要望により、自動化ラインを提案
製品に関するお問い合わせ