大型バッチ式
蒸着装置
（CU-36P）
大型バッチ式蒸着装置Large Batch Type Vacuum Evaporation Equipment
樹脂製部品の量産型蒸着装置の技術をベースに開発した大型バッチ式真空蒸着装置です。
特長
- 大型排気口構造により排気時間が短縮 ⇒ サイクルタイム短縮
- プラズマ電極によるボンバード、プラズマ重合、親水処理可能
- 両トビラタイプによる生産性向上（1トビラ処理中に次のワークセット準備可能）
| 形式 | CU-36P-180J |
|---|---|
| 真空槽 | ø1800×Ｈ2040mm |
| ポンプ | 拡散ポンプ36インチ×1、メカニカルブースターポンプ×2、 ロータリーポンプ×2、冷却機×1 |
| 蒸発電極 | 2対 / トビラ 25KVAトランス |
| 治具・台車 | 6軸（ø540mm）、8軸（ø440mm）兼用 |
| プラズマ電極 | Max2極（RF3kw） |
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