研究開発用
スパッタリング装置
(CFS-4EP/4ES)
研究開発用
スパッタリング装置
(CFS-4EP/4ES)
コンパクトで操作が簡単、豊富なオプションを揃えたロードロック式タイプとバッチ式タイプのスパッタリング装置です。
研究開発から多品種生産、少量生産まで様々な成膜用途にご使用いただけます。
特長
CFS-4EP-LL<!-miller> | CFS-4ES-231 | |
---|---|---|
ロードロック式タイプ | バッチ式タイプ | |
スパッタ方式 | サイドスパッタ | サイドスパッタ |
スパッタ源 | 3inch×3(4) | 3inch×3 |
ホルダーサイズ | ø220 | ø200 |
到達圧力 | 5×10-4 Pa以下 | 5×10-4 Pa以下 |
排気時間 | 10分で7×10-3 Pa以下 | 10分で7×10-3 Pa以下 |
排気操作方式 | 自動・全自動 | 手動 |
スパッタ操作方式 | 手動・全自動 | 手動 |
電源 | RF500W(DC) | RF500W(DC) |
加熱温度 | 最大300℃(600℃) | 最大300℃ |
エッチング | 可能 | 可能 |
本体寸法 | 1390W×1060D×1650H | 950W×860D×1540H |
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