アレイ工程からモジュール工程にわたって、液晶、有機EL等のあらゆるフラットパネルディスプレイに対応可能な装置を提供しています。

DVDやBlu-ray Discなどの記録メディアを製造するスパッタリング装置および真空貼り合せ装置を世界各国に提供しています。

「微細加工技術・光学系応用技術」をもとにレーザ加工の新分野で「高性能」をコンパクトに、より使いやすく、環境負荷を低減した装置を提供しています。