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芝浦メカトロニクス株式会社

洗浄装置Wet Cleaning Equipment

FPD製造装置

洗浄装置

洗浄装置

LCD製造工程の様々な段階で、ガラス基板表面の微小なパーティクル、有機物、金属不純物といった歩留り低下の原因となる汚染を取り除く装置です。

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特長

装置を二階建てとし、省スペースを実現
ハイパーツールにより、省エネルギーを実現

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