現像装置
現像装置Developing Equipment
TFT工程、カラーフィルタ工程のレジスト処理工程の中で、ガラス基板上に塗布されたレジストにパターン露光した後、現像処理をする装置です。
特長
- 独自のシャワー処理により、精密で均一な処理が可能
- 省スペース、省エネルギーを実現
製品に関するお問い合わせ
現像装置
TFT工程、カラーフィルタ工程のレジスト処理工程の中で、ガラス基板上に塗布されたレジストにパターン露光した後、現像処理をする装置です。
特長
製品に関するお問い合わせ
