SC300-FC seriesファイナル洗浄装置

ファイナル洗浄装置
SC300-FC series

最先端ウェーハ向け300mm対応枚葉式洗浄装置

ファイナル洗浄装置 SC300-FC series
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半導体ウェーハの工程間洗浄、最終洗浄に対応した300mm対応の枚葉式洗浄装置です。
当社の枚葉式洗浄装置の豊富な経験、技術を活かし、高い洗浄性と生産性を備えています。ウェーハ保持機構を改善し、ウェーハ表裏面に加え端面の清浄性も改善しました。最高の品質と生産性に貢献致します。

特長

  • ・高性能

    19nm以下の微細パーティクルに対応。搬送効率とチャンバーの見直しにより従来機から約25%の洗浄性能向上しました。

  • ・ウェーハ保持機構の改善

    端面の清浄度を改善するために保持機構を新たに開発致しました。

  • ・高生産性

    最大8チャンバーの構成を選択可能で、生産性に貢献致します。

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最終洗浄工程最先端のウェーハ洗浄に対応したスピン処理技術

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4ロードポート8チャンバーの生産能力に対応

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