部品洗浄

弊社は、芝浦グループ以外の装置や部品についても、独自の低ダメージ洗浄技術を用いてお客様の期待にお応えします。

• 各社半導体製造装置部品の精密洗浄
  - 各種プロセス装置部品の精密洗浄に対応します
• ドライエッチング装置やCVD装置部品の反応生成物除去
  - 各種溶射膜表面の反応生成物除去洗浄にも対応します
• 各社成膜装置部品の洗浄
  - スパッタ、蒸着装置部品の洗浄と各種溶射膜の再生に対応します
• 液晶マスクの洗浄
• 配管部品・各種バルブの精密洗浄
  - 分解、洗浄、組立、動作試験を行なって出荷します
• 真空ポンプの分解洗浄

洗浄槽や薬液の管理を行ない、高い清浄度を実現します。