改善・改造・延命

制御系

制御系をPLC化することにより、スイッチ操作からタッチパネルによる操作に変更することが可能です。
タッチパネル化することにより、製造工程のレシピ化、データの表示・蓄積など、装置運用の効率化を図ることが可能です。

電装系・電源系

例えばスパッタリング装置、高周波電源の出力アップにより、処理時間の短縮化を図ります。
また、オートチューニングも可能です。