専用設計による装置製作

真空チャンバ内で抵抗体を用いて蒸着材料を加熱し、蒸発させて蒸着させる装置です。

真空容器内に流したアルゴンなどの不活性ガスでプラズマを発生させて、アルゴンイオンをターゲットに衝突させて放出されたスパッタで成膜する装置です。