研究用途に合わせた装置製作

汎用用途に小型真空応用装置

汎用用途に小型真空応用装置

研究用途に応じてシステムを構築できる汎用装置です。

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概略仕様

到達圧力 5.0 × 10-4 Pa
排気時間 6.6 × 10-3 /5mim
真空チャンバ AL合金製
汎用ポート 真空チャンバ側面4箇所
メインポンプ 空冷式ターボ分子ポンプ(220 L/sec)
補助ポンプ 油回転ポンプ(300 L/min)
メインバルブ バタフライバルブ
補助バルブ アングルバルブ
所要電力 三相 AC 200 V, 6 kVA
最大寸法  W × D × H(mm) 600 × 842 × 1,180
質量 170 kg

貴社の構想に見合った装置製作

貴社の構想に見合った装置製作

貴社のご要望に即した研究試作機を製作します。
仕様をお打合せをさせていただき、お見積りおよび概略納期をご提示いたします。

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