小型真空応用装置

小型真空応用装置
(真空チャンバー
搭載排気装置)

小型真空応用装置(真空チャンバー搭載排気装置)
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特長

  • 4つの基本ユニット構成
    1)EEA-04TM ベースユニット
    2)EEA-04TM-M メインバルブ付きユニット
    3)EEA-04TM チャンバー回転機構付きユニット
    4)EEA-04TM メインバルブ + チャンバー回転機機構付きユニット
  • カスタマイズ製品製作も行います
  • お客様の保有品を有効活用も可能です
  • ご予算に合わせて、納入後の機能追加、改造も可能です
  • 長年の装置メンテで培った提案と対応をさせて戴きます

基本仕様

到達圧力 5.0 × 10-4 Pa
排気時間 6.6 × 10-3 Pa / 5 min
真空チャンバー AL合金製
汎用ポート 真空チャンバー側面 4 箇所
メインポンプ 空冷式ターボ分子ポンプ(220 L/sec)
補助ポンプ 油回転式真空ポンプ(300 L/sec)
操作系 手動操作方式
所要電力 三相 200 V, 6 KV
外径寸法 W × D × H (mm) 600 × 842 × 1,180
質量 170 kg

基本仕様の外形図

真空蒸着装置における油拡散真空ポンプ 1時間の電力比較

カスタマイズ(例)

※ 予告なく仕様または希望小売価格が変更されることがあります。

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