小型真空応用装置
(真空チャンバー
搭載排気装置)
小型真空応用装置
(真空チャンバー
搭載排気装置)
到達圧力 | 5.0 × 10-4 Pa |
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排気時間 | 6.6 × 10-3 Pa / 5 min |
真空チャンバー | AL合金製 |
汎用ポート | 真空チャンバー側面 4 箇所 |
メインポンプ | 空冷式ターボ分子ポンプ(220 L/sec) |
補助ポンプ | 油回転式真空ポンプ(300 L/sec) |
操作系 | 手動操作方式 |
所要電力 | 三相 200 V, 6 KV |
外径寸法 W × D × H (mm) | 600 × 842 × 1,180 |
質量 | 170 kg |
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