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リニューアル

リニューアル事例１リニューアル事例２

リニューアル事例１

スパッタリング装置　CFS-12P-100型のリニューアル

スパッタリング装置　CFS-12P-100型のリニューアル
　

リニューアル機

  • チャンバ、架台、外装パネルの再塗装
  • 独立制御盤による制御
  • タッチパネル化
  • DC・RF電源、MFC、イオンゲージの交換
  • 流量計のデジタル化

リニューアル事例２

YAGレーザ加工装置　LAY-601型　リニューアル復刻機の製作

YAGレーザ加工装置　LAY-601型　リニューアル復刻機の製作

従来機

  • 3相全波位相制御電源
  • 基板による制御回路
  • ボタン操作

リニューアル機

  • インバータ式電源
  • PLCによる制御
  • タッチパネル化

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