材質変更・プロセス改善

CFS-4ESスパッタリング装置の場合

・スパッタGUN系
（1）新型マグネット化
ターゲット交換の作業性向上の為に錆防止タイプのマグネットに改良します。
（ターゲット形状等の変更はありません。）
（2）強磁性体マグネット化
ターゲット材により特殊マグネット仕様GUNに改造します。

・基板テーブル
（1）特殊加熱基板テーブル化
基板を500度まで加熱するテーブルに改良できます。
（2）冷却基板テーブル化
基板温度を上げたくないときのテーブルに改良できます。
（3）磁気シール機構付テーブル化
軸部Oリングの消耗がなくなり、リークしないので、メンテナンス頻度が低減します。