高速枚葉式スパッタリング装置High-Speed, Single-Wafer Sputtering Equipment

高速枚葉式
スパッタリング装置
(BM-700/600)

洗浄装置

反射膜+保護膜など従来よりも1ランク上の付加価値を実現。
立体物成膜に適した自動化ライン対応可能な高速枚葉式スパッタリング装置です。

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応用例

  • 自動車外装品
  • エンブレム、小型ランプリフレクタ等、ミラー等
  • 自動車内装品
  • メーターリング、スイッチ類等

特長

特殊P-gun構造
  • 立体物対応:立体物側面膜付き向上
  • 最大2種の材料を積層可能
  • 専用ホルダを用いる事で少量多品種
  • 生産の段取り変え時間を短縮
  • 搬送系にピック&プレイス機構を採用し、自動化ラインとのドッキングが容易
  • ミリ波レーダ用電波透過膜(不連続膜)の成膜が可能
  BM-700 BM-600
立体ワークに適用 ミラー、平板ワークに適用
不連続膜用 飾色用 飾色用
In、Sn等 Al、Cr等 Al、Cr等
スパッタ源 ø150mm max.2個 ø300mm 1個
投入Max.サイズ ø270×t70mm ø300×t70mm ø250×t14mm
※膜厚分布保障は別です。
サイクルタイム 60sec/バッチ 16sec/バッチ 8sec/バッチ

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