枚葉式ウェーハ洗浄装置Single Wafer Wet Cleaning Equipment

枚葉式ウェーハ
洗浄装置

枚葉式ウェーハ洗浄装置

半導体ウェーハの製造工程で、半導体の欠陥の原因になるゴミや汚れを薬液や純水を使用して洗浄する装置です。

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特長

  • 高性能
    枚葉洗浄方式により高清浄と高均一性を実現 クロスコンタミネーションフリー
  • 低COO
    機能水の活用による薬液コストの低減
    少量薬液洗浄システム
    小フットプリント
  • 環境調和
    脱RCA洗浄と少薬液システム
    常温洗浄の省エネプロセス

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