FPD用パターンカット装置Pattern Cutting Equipment for FPD

FPD用パターン
カット装置

FPD用パターンカット装置

LCD基板の製造プロセスの中での静電破壊を防止するためのショートパターンなどをレーザで除去する装置です。ダイシングやテーピング方法と異なり、ドライでクリーンな除去が可能です。4カセットのローダ・アンローダと組合せたフルオートタイプとオペレータが基板を投入するセミオートタイプがあります。

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特長

項目   備考

レーザ

LD励起YAGレーザ

 

光学系

f=100mm

Z=20mm

加工点モニタ

 

パワーモニタ

発振器/加工点

 

搬送部

ダブルアームロボット
/4カセット
手動  

 

パネル

~27inch

~20inch

 

 

ゲージング

オート

セミオート

 

 

XYステージ

730 x 650mm

550 x 640mm

 

 

アライメント

1カメラ → 2マーク読取

XYθ-アライメント

 

イオナイザ

ACイオナイザ

 

制御

PCL+タッチパネル

 

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