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芝浦メカトロニクス株式会社
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ウェーハ自動外観検査装置(AI-12)

ウェーハ自動外観検査装置 AI-12

表裏面のマクロ検査に必須の性能とは、定量化しにくい対象を浮立たせ、官能検査の認識を損なわないように、データを可視化することと弊社は考えます。
デバイス工程において官能検査が補完する様々な検査は、歩留まりを悪化させた欠陥を検出することではなく、歩留まり向上に貢献することを目的としたものであると弊社は考えます。
統合生産効率(Total Cost of Order)を向上することが出来る検査には、ノイズレベルに隠れた欠陥候補を予兆として検出する機能が必須です。
予兆性を検出し、欠陥候補を早期発見、早期撲滅するソリューションとして、AI-12は抜群の性能を発揮します。

特長

  • 用途
    表面や裏面の検査
    自動検査/目視検査
    出荷検査や洗浄前後の検査
  • 機能概要
    ウェーハの表裏面自動検査/目視検査
    形状分類機能
    欠陥座標計測機能
  • 適用
    シリコンウェーハ(Φ300mm)
  • 基本性能
    画素分解能
    : 0.3mm/pixels
    検査方式
    : 画像処理による自動検査
    検査部位
    : 表面、裏面
    データ方式
    : 高解像度画像取得
    スループット
    : 25枚/25分(参考値、表面自動検査時)
  • 標準装備
    POD Opener
    斜光検査(目視検査)ステージ
    反転移載機能
    GEM/SECS Communication
  • オプション
    凸凹検査分類
    ウェーハ ID読取
    FOUP/FOSB ID読取
    FOSB Stage
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