希薄な気体をマイクロ波エネルギーでプラズマ化し、主に樹脂製ワークの表面改質を行なう装置です。
ワークは、マイクロ波の影響を受けることがなく、高密度の低温プラズマにより、短時間で表面のみ改質され、親水性や接着性が向上します。
小型チャンバーの実験用装置から、直径2メートル程度の大型プラズマ処理装置まで、幅広くラインナップを取り揃えています。