油回転真空ポンプ

モータ直結型
油回転真空ポンプ
DRP Series

洗浄装置

旧:TOKUDA

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DRPシリーズの特長

  • 2段式の採用により、到達圧力が低い
  • モーター直結型の採用により、小型・軽量で粉塵の発生が少なく、クリーンな環境を保持できる
  • 振動・騒音が少ない
  • メンテナンスが容易な構造
  • ガスバラストバルブ(水蒸気処理弁)付属のため水蒸気・凝縮性のガスの排気に強い

使用例

  • スパッタリング装置
  • 蒸着装置
  • 各種プラズマ装置
  • 真空炉
  • 各種真空試験装置

DRPシリーズ ラインアップ

型式 unit DRP-180YⅡ DRP-360YⅡ DRP-360Ⅲ
構造 回転翼型2段
ガスバラストバルブ付属
設計排気速度 50 Hz, L/min 150 300 300
60 Hz, L/min 180 360 360
到達圧力 Pa 2.7 × 10-2(*2) 2.7 × 10-2(*2) 6.7 × 10-2(*2)
所要モータ ACV, 相, kW 200, 3, 0.4(*3) 200, 3, 0.75(*3)(*4) 200, 3, 0.73(*3)(*5)
吸気口   NW25(*6) NW25(*6) NW25(*6)
排気口   PS1 PS1 PS1
使用油   TSR-1200 TSR-1200 TSR-1200
油量 L 0.8 1.2 1.5
大きさ(*1) W × D × H(mm) 261 × 494.5 × 209 261 × 572 × 172 260 × 503 × 176
質量(*1) kg 27 38 34
水処理量 L/h 0.2 0.4 0.4
騒音 50 Hz, dB(A) 60 61 58
60 Hz, dB(A) 63 64 61
振動   振幅 0.05 mm 以下
冷却方法   強制冷却(air cooling)
         
型式 unit DRP-800 DRP-1500  
構造 回転翼型2段
ガスバラストバルブ付属
 
設計排気速度 50 Hz, L/min 700 1,250  
60 Hz, L/min 840 1,500  
到達圧力 Pa 6.7 × 10-2(*2) 6.7 × 10-2(*2)  
所要モータ ACV, 相, kW 200, 3, 1.5(*3)(*4) 200, 3, 2.2(*3)(*4)  
吸気口   VG50 VG50  
排気口   PS1 1/2 PS2  
使用油   TSR-1200 TSR-1200  
油量 L 2.3 3.5  
大きさ(*1) W × D × H(mm) 441 × 608 × 237 496 × 721.5 × 253  
質量(*1) kg 67 96.5  
水処理量 L/h 0.8 1.5  
騒音 50Hz, dB(A) 63 73  
60Hz, dB(A) 67 76  
振動   振幅 0.05 mm 以下  
冷却方法   強制冷却(air cooling)  

*1 ベース,モータなどを含んだセットの値を示します
*2 マクラウド真空計にて測定
*3 全閉外扇型モータ
*4 IE3仕様
*5 CE仕様(IE1相当)
*6 オプション

※ 予告なく仕様または希望小売価格が変更されることがあります。

注意事項

  • 当社の油回転真空ポンプは、下記の使用に基づき設計・製作しております。
    (1) 吸入ガスの種類 空気および不活性ガス(N2, CO2, He, Ne, Ar, Xe, Rn ・・・)
    (2) 吸入ガスの温度 5~40℃
    (3) 環境温度 5~40℃
    (4) 常用圧力 ポンプの圧力約1.3×102Pa以下
    (5) その他 真空と大気の繰り返し頻度が少ないこと。水などの液体の吸入は絶対にしないでください。
      ※上記使用条件と異なる場合は、ご相談ください。
  • 下記用途に使用する場合、標準仕様の真空ポンプ寿命が短くなりますのでご注意ください。
    (1) 腐食性ガス(Cl2, CCl4, CF4, BBr3, HBr ・・・)
      〔例〕イオン注入、エッチング、CVD等
        ※特殊仕様真空ポンプの場合でも、引火性・揮発性の強い物質の吸入はしないでください。
    (2) 大量の水蒸気、薬品、溶剤、粉体等の排気。
    (3) 常用圧力が1.3kPa以上の場合。
    (4) 真空と大気の繰り返し頻度が激しい場合。
    (5) アンモニアガスの吸引使用はさけてください。

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